|
| Обозначение: | ГОСТ Р 52250-2004 |
|
| Статус: | действующий |
|
| Название рус.: | Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
|
| Название англ.: | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
|
| Дата актуализации текста: | 07.11.2012 |
|
| Дата актуализации описания: | 07.11.2012 |
|
| Дата издания: | 02.07.2004 |
|
| Дата введения в действие: | 01.01.2005 |
|
| Дата последнего изменения: | 18.05.2011 |
|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
|
| Расположен в: |
|
|
